Зондовые станции Т-100
Зондовая станция Т-100 предназначена для
контроля УВЧ параметров транзисторов, интегральных и монолитных
схем на пластине, кристалле или в корпусе.
Вместе с входящими в комплект зондовыми и контактными
устройствами зондовая станция является идеальным устройством для
подключения стандартной контрольно-измерительной
аппаратуры дециметрового, сантиметрового и миллиметрового
диапазона длин волн для контроля твердотельных приборов.
Примененяется в составе:
- измерителей шумовых параметров СВЧ транзисторов,
гибридных и монолитных усилителей;
- измерителей скалярных и комплексных параметров
твердотельных СВЧ приборов;
- систем технологического контроля параметров СВЧ структур.
Технические характеристики
| Наименование параметров |
Автоматическая Т-100-М |
Ручная T-100 |
| Пределы перемещения
измеряемых пластин, мм |
| по X |
150 |
40 |
| по Y |
150 |
20 |
| по Z |
3 |
5 |
| Угол поворота, ° |
180 |
180 |
| Погрешность позиционирования |
3 мкм / 150 мм |
– |
| Минимальный шаг перемещения, мкм |
1,0 |
– |
| Максимальная скорость
перемещения, мм/с |
30 |
– |
|
