Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 (микропрофилометр)

Предназначен для бесконтактного автоматического измерения микрорельефа поверхности, толщины тонких пленок, а также высотных и шаговых параметров шероховатости поверхности.

Предназначен для бесконтактного автоматического измерения микрорельефа поверхности, толщины тонких пленок, а также высотных и шаговых параметров шероховатости поверхности. Автоматизированный интерференционный микропрофилометр создан на базе микроинтерферометра Линника МИИ-4М, широко используемого для промышленного контроля и измерений в металлобработке, микроэлектронике, производстве тонких пленок и т.д. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе, встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерферограммы при различных положениях опорного зеркала с помощью встроенной ПЗС-телекамеры через устройство ввода изображения поступают в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка. Результаты измерений в виде тpехмеpных и двумерных профилей объекта, гpафиков и гистогpамм отобpажаются на экране компьютера, а также могут быть выведены на пpинтеp для печати. Для точного позиционирования объекта микропрофилометр может быть снабжен двухкооpдинатным автоматизированным предметным столом с шаговыми двигателями, управляемым от компьютера.

Области применения

в промышленности:

• бесконтактное измерение микропрофиля отражающих поверхностей

• измерение высотных и шаговых параметров шероховатости

• измерение толщины тонких пленок

• динамические измерения

в биологии и медицине:

• возможность исследования живых неокрашенных клеток

• морфометрия клеток

• измерение сухого веса клеток с точностью 10^-12 г

• измерение показателя двулучепреломления

• оценка состояния популяции клеток

• динамическая фазовая микроскопия

Состав:

• базовый модернизированный микроинтерферометр МИИ-4М

• лазерный источник освещения

• управляемое от компьютера опорное зеркало на пьезоэлементе

• две встроенные ПЗС-телекамеры

• плата ввода изображения

• плата управления пьезозеркалом

• пакет прикладных программ с руководством пользователя

• управляемый от компьютера двухкоординатный автоматизированный предметный стол с шаговыми двигателями*

• плата управления автоматизированным предметным столом*.

Пример работы микропрофилометра:

• Участок поверхности компакт-диска

• Измерение морфометрических параметров и массы сухих веществ клетки

Представление результатов измерений:

• Сечения горизонтальное и вертикальное сечения профиля в любой выбранной точке

• Псевдоцветное изображение псевдоцветное изображение профиля с двумя взаимно перпендикулярными сечениями в любой выбранной точке

• Таблица значений таблица значений высоты профиля в прямоугольной области профиле

• Трехмерное изображение трехмерное изображение профиля с возможностями масштабирования и вращения

• Протокол протокол измерений, включающий в себя любой из перечисленных видов представления